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PVD技術(shù)常用的方法
PVD基本方法:真空蒸發(fā)、濺射?、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應(yīng)離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍),以下介紹幾種常用的方法。
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2022
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